Klusemann, B., Knorr, A. F., Vehoff, H. & Svendsen, B.,
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MEMS and Nanotechnology. Shaw, G. A., Prorok, B. C. & Starman, L. A. (Hrsg.).
Springer Verlag,
Band 6.
S. 101-110 10 S.Publikation: Beiträge in Sammelwerken › Aufsätze in Konferenzbänden › Forschung › begutachtet