Klusemann, B., Knorr, A. F., Vehoff, H. & Svendsen, B., 
2012, 
MEMS and Nanotechnology. Shaw, G. A., Prorok, B. C. & Starman, L. A. (Hrsg.). 
Springer Verlag, 
Band 6. 
S. 101-110 10 S.Publikation: Beiträge in Sammelwerken › Aufsätze in Konferenzbänden › Forschung › begutachtet