1. //
  2. Start
  3. //
  4. Publications
  5. Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasma...
  6. Output formats
  7. //

Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen

Research output: Contributions to collected editions/works › Published abstract in conference proceedings › Research › peer-review

Standard

Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. / Oberrath, Jens.
Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V, 2016. p. 99.

Research output: Contributions to collected editions/works › Published abstract in conference proceedings › Research › peer-review

Harvard

Oberrath, J 2016, Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. in Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V, pp. 99, Kleinheubacher Tagung, Miltenberg, Germany, 26.09.16.

APA

Oberrath, J. (2016). Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. In Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts (pp. 99). Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V.

Vancouver

Oberrath J. Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. In Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V. 2016. p. 99

Bibtex

@inbook{c395f5d2d4794e89a440b5160da4fd0b,
title = "Die sph{\"a}rische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen",
keywords = "Ingenieurwissenschaften",
author = "Jens Oberrath",
year = "2016",
month = sep,
language = "Deutsch",
pages = "99",
booktitle = "Kleinheubacher Tagung 2016",
publisher = "Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V",
address = "Deutschland",
note = "Kleinheubacher Tagung - URSI 2016 , URSI 2016 ; Conference date: 26-09-2016 Through 28-09-2016",
url = "https://www.ursi-landesausschuss.de/tagungen_conferences/kleinheubacher_tagung_2016.html",

}

RIS

TY - CHAP

T1 - Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen

AU - Oberrath, Jens

PY - 2016/9

Y1 - 2016/9

KW - Ingenieurwissenschaften

UR - http://www.kh2016.de/KH2016_book_of_abstracts.pdf

M3 - Abstracts in Konferenzbänden

SP - 99

BT - Kleinheubacher Tagung 2016

PB - Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V

T2 - Kleinheubacher Tagung - URSI 2016

Y2 - 26 September 2016 through 28 September 2016

ER -

Other publications by the same author(s)

Numerical study of electrode vaporization rates in an Automotive HVDC Relay in hydrogen and open air in a short circuit situation

Ewuntomah, C. M. & Oberrath, J., 2021, Proceedings of the 66th IEEE Holm Conference on Electrical Contacts, HLM 2021. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 24-31 8 p. (Electrical Contacts, Proceedings of the Annual Holm Conference on Electrical Contacts; vol. 2021-October).

Research output: Contributions to collected editions/works › Article in conference proceedings › Research › peer-review

2D Simulations of the NS-Laser Shock Peening

Pozdnyakov, V. & Oberrath, J., 06.2019, 2019 IEEE Pulsed Power and Plasma Science, PPPS 2019. Piscataway: IEEE - Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 4 p. 9009984. (IEEE International Pulsed Power Conference; vol. 2019-June).

Research output: Contributions to collected editions/works › Article in conference proceedings › Research › peer-review

A Stacked Planar Sensor Concept for Minimally Invasive Plasma Monitoring

Pohle, D., Schulz, C., Oberberg, M., Friedrichs, M., Serwa, A., Uhlig, P., Oberrath, J., Awakowicz, P. & Rolfes, I., 16.01.2019, 2018 Asia-Pacific Microwave Conference, APMC 2018 - Proceedings. Piscataway: IEEE - Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 1315-1317 3 p. 8617552. (Asia-Pacific Microwave Conference Proceedings, APMC; vol. 2018-November).

Research output: Contributions to collected editions/works › Article in conference proceedings › Research › peer-review

Global modelling of the ns-laser shock peening

Pozdnyakov, V., Keller, S., Klusemann, B., Kashaev, N. & Oberrath, J., 03.2019, DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos (SMuK) : mit den Fachverbänden (sektionszugehörig): Extraterrestrische Physik, Gravitation und Relativitätstheorie, Physik der Hadronenund Kerne, Theoretische und Mathematische Grundlagen der Physik sowie weiteren Fachverbänden: Geschichte der Physik, Kurzzeit- und angewandte Laserphysik, Plasmaphysik, Umweltphysik und den Arbeitskreisen bzw. der Arbeitsgruppe: Beschleunigerphysik, Chancengleichheit, Junge DPG, Philosophie der Physik. Bad Honnef: Deutsche Physikalische Gesellschaft, p. 151 1 p. K 6.1. (Verhandlung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, Reihe 6; vol. 54, no. 2).

Research output: Contributions to collected editions/works › Published abstract in conference proceedings › Research › peer-review

Planar multipole resonance probe: Comparison of full-wave electromagnetic simulation and electrostatic approximation

Friedrichs, M., Pohle, D., Rolfes, I. & Oberrath, J., 01.09.2019, 2019 Kleinheubach Conference, KHB 2019. Piscataway: IEEE - Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 8890211. (2019 Kleinheubach Conference, KHB 2019).

Research output: Contributions to collected editions/works › Article in conference proceedings › Research › peer-review

Recently viewed

Publications

  1. Nächstenliebe I. Zum Begriff
  2. Können Corporate-Governance-Variablen die Qualität der Vergütungsberichte positiv beeinflussen?
  3. Mediatisierte Politikgestaltung
  4. Repatriation outcomes affecting corporate ROI
  5. Berichterstattung nach Art. 8 der EU-Taxonomie-Verordnung.
  6. Soziologie der Nachhaltigkeit
  7. Rechnungslegung nach dem Bilanzrechtsmodernisierungsgesetz (BilMoG)
  8. Erneuerbare Energien
  9. Sind Selbständige zeit- und einkommensarm?
  10. Heinrich Popitz: Einführung in die Soziologie. Konstanz: University Press 2010
  11. Paratexte und ihre Funktion in der Transformation von Wissensordnungen am Beispiel der Reihe von Theodor Zwingers Theatrum Vitae Humanae
  12. Integrierte Versorgung für schizophren erkrankte Patienten
  13. Health literacy and mental health of school principals. Results from a German cross-sectional survey
  14. Interessenpolitisches Umweltmanagement
  15. Psychological distance and imitation
  16. Wildlife habitat association over a twelve-year period (2008-2020) in the Greater Mahale Ecosystem, western Tanzania
  17. Rahmenbedingungen der Schulsozialarbeit
  18. In Krisen aus Krisen lernen
  19. Kooperationen in der Supply Chain
  20. Govern Like You Mean It
  21. Kinderliterarische Komparatistik
  22. Raus auf den Rasen
  23. Beruflich qualifiziert studieren: Alles eine Frage der Work-Study-Life-Balance?
  24. Book Review
  25. Governing landscapes
  26. Lernförderliche Rückmeldungen zu mathematischer Modellierungskompetenz im alltäglichen Mathematikunterricht: Unterrichtsentwicklung durch Lehrerfortbildungen?
  27. Themenschwerpunkt: Die maras, der Gewaltdiskurs in Zentralamerika und unsere Schüler
  28. Die ‚Arisierung’ jüdischen Grundbesitzes in Bremen
  29. Freedom in church and freedom in society in German theology
  30. Critical Perspectives on Social Media and Protest
  31. Thinking beyond Western commercial honeybee hives
  32. Trauer um Prof. Hermann Schweppenhäuser