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Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen

Research output: Contributions to collected editions/works › Published abstract in conference proceedings › Research › peer-review

Standard

Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. / Oberrath, Jens.

Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V, 2016. p. 99.

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Oberrath, J 2016, Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. in Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V, pp. 99, Kleinheubacher Tagung, Miltenberg, Germany, 26.09.16.

APA

Oberrath, J. (2016). Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. In Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts (pp. 99). Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V.

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Oberrath J. Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. In Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V. 2016. p. 99

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RIS

TY - CHAP

T1 - Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen

AU - Oberrath, Jens

PY - 2016/9

Y1 - 2016/9

KW - Ingenieurwissenschaften

UR - http://www.kh2016.de/KH2016_book_of_abstracts.pdf

M3 - Abstracts in Konferenzbänden

SP - 99

BT - Kleinheubacher Tagung 2016

PB - Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V

T2 - Kleinheubacher Tagung - URSI 2016

Y2 - 26 September 2016 through 28 September 2016

ER -

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