Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen
Publikation: Beiträge in Sammelwerken › Abstracts in Konferenzbänden › Forschung › begutachtet
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Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. / Oberrath, Jens.
Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V, 2016. S. 99.
Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V, 2016. S. 99.
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Oberrath, J 2016, Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. in Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V, S. 99, Kleinheubacher Tagung - URSI 2016 , Miltenberg, Deutschland, 26.09.16.
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Oberrath, J. (2016). Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. In Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts (S. 99). Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V.
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Oberrath J. Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen. in Kleinheubacher Tagung 2016: Book of Abstracts. Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V. 2016. S. 99
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RIS
TY - CHAP
T1 - Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen
AU - Oberrath, Jens
PY - 2016/9
Y1 - 2016/9
KW - Ingenieurwissenschaften
UR - http://www.kh2016.de/KH2016_book_of_abstracts.pdf
M3 - Abstracts in Konferenzbänden
SP - 99
BT - Kleinheubacher Tagung 2016
PB - Union Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V
T2 - Kleinheubacher Tagung - URSI 2016
Y2 - 26 September 2016 through 28 September 2016
ER -