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Spectra of the planar Multipole Resonance Probe determined by a Kinetic Model. /
Friedrichs, Michael; Oberrath, Jens.
DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos (SMuK): mit den Fachverbänden (sektionszugehörig) Extraterrestrische Physik, Gravitation und Relativitätstheorie, Physik der Hadronen und Kerne, Theoretische und Mathematische Grundlagen der Physik sowie weiteren Fachverbänden Geschichte der Physik, Kurzzeit- und angewandte Laserphysik, Plasmaphysik, Umweltphysik und den Arbeitskreisen bzw. der Arbeitsgruppe Beschleunigerphysik, Chancengleichheit, Junge DPG, Philosophie der Physik : 17.-22. März 2019, Technische Universität München. Hrsg. / Bernhard Nunner. Bad Honnef: Deutsche Physikalische Gesellschaft e.V., 2019. S. 169 P 6.2 (Verhandlung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, Reihe 6; Band 54,2).
Publikation: Beiträge in Sammelwerken › Abstracts in Konferenzbänden › Forschung › begutachtet
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Friedrichs, M & Oberrath, J 2019,
Spectra of the planar Multipole Resonance Probe determined by a Kinetic Model. in B Nunner (Hrsg.),
DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos (SMuK): mit den Fachverbänden (sektionszugehörig) Extraterrestrische Physik, Gravitation und Relativitätstheorie, Physik der Hadronen und Kerne, Theoretische und Mathematische Grundlagen der Physik sowie weiteren Fachverbänden Geschichte der Physik, Kurzzeit- und angewandte Laserphysik, Plasmaphysik, Umweltphysik und den Arbeitskreisen bzw. der Arbeitsgruppe Beschleunigerphysik, Chancengleichheit, Junge DPG, Philosophie der Physik : 17.-22. März 2019, Technische Universität München., P 6.2, Verhandlung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, Reihe 6, Bd. 54,2, Deutsche Physikalische Gesellschaft e.V., Bad Honnef, S. 169, DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos - SMuK 2019, München, Deutschland,
17.03.19.
APA
Friedrichs, M., & Oberrath, J. (2019).
Spectra of the planar Multipole Resonance Probe determined by a Kinetic Model. In B. Nunner (Hrsg.),
DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos (SMuK): mit den Fachverbänden (sektionszugehörig) Extraterrestrische Physik, Gravitation und Relativitätstheorie, Physik der Hadronen und Kerne, Theoretische und Mathematische Grundlagen der Physik sowie weiteren Fachverbänden Geschichte der Physik, Kurzzeit- und angewandte Laserphysik, Plasmaphysik, Umweltphysik und den Arbeitskreisen bzw. der Arbeitsgruppe Beschleunigerphysik, Chancengleichheit, Junge DPG, Philosophie der Physik : 17.-22. März 2019, Technische Universität München (S. 169). Artikel P 6.2 (Verhandlung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, Reihe 6; Band 54,2). Deutsche Physikalische Gesellschaft e.V..
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Friedrichs M, Oberrath J.
Spectra of the planar Multipole Resonance Probe determined by a Kinetic Model. in Nunner B, Hrsg., DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos (SMuK): mit den Fachverbänden (sektionszugehörig) Extraterrestrische Physik, Gravitation und Relativitätstheorie, Physik der Hadronen und Kerne, Theoretische und Mathematische Grundlagen der Physik sowie weiteren Fachverbänden Geschichte der Physik, Kurzzeit- und angewandte Laserphysik, Plasmaphysik, Umweltphysik und den Arbeitskreisen bzw. der Arbeitsgruppe Beschleunigerphysik, Chancengleichheit, Junge DPG, Philosophie der Physik : 17.-22. März 2019, Technische Universität München. Bad Honnef: Deutsche Physikalische Gesellschaft e.V. 2019. S. 169. P 6.2. (Verhandlung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, Reihe 6).
Bibtex
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title = "Spectra of the planar Multipole Resonance Probe determined by a Kinetic Model",
abstract = "The planar Multipole Resonance Probe (pMRP) is a measurement device for plasma processes, especially suited for industrial applications. Due to its planar design, the probe can be mounted directly into a chamber wall of a reactor and offers the ability to monitor the plasma during the process. The calculation of plasma parameters requires an appropriate mathematical model to obtain a proportional relation between the resonance and the plasma parameters. A fluid model of the probe-plasma interaction offers the ability to calculate the electron density by measuring the resonance frequency. The information of the electron temperature can be obtained by analyzing another resonance parameter like e.g. the half width of the resonance peak. However, it requires a kinetic description of the resonance phenomenon. In this work a kinetic model, adapted to the pMRP, is analyzed using functional analytic methods. An approximated solution for the admittance of the probe-plasma interaction will be investigated and a study of the influence of the truncation on the resonance spectrum will be shown.The authors gratefully acknowledge funding by the German Research Foundation (DFG) within the project OB 469/1-1.",
keywords = "Engineering",
author = "Michael Friedrichs and Jens Oberrath",
year = "2019",
language = "English",
series = "Verhandlung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, Reihe 6",
publisher = "Deutsche Physikalische Gesellschaft e.V.",
pages = "169",
editor = "Bernhard Nunner",
booktitle = "DPG-Fr{\"u}hjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos (SMuK)",
address = "Germany",
note = "DPG-Fr{\"u}hjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos - SMuK 2019 ; Conference date: 17-03-2019 Through 22-03-2019",
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RIS
TY - CHAP
T1 - Spectra of the planar Multipole Resonance Probe determined by a Kinetic Model
AU - Friedrichs, Michael
AU - Oberrath, Jens
PY - 2019
Y1 - 2019
N2 - The planar Multipole Resonance Probe (pMRP) is a measurement device for plasma processes, especially suited for industrial applications. Due to its planar design, the probe can be mounted directly into a chamber wall of a reactor and offers the ability to monitor the plasma during the process. The calculation of plasma parameters requires an appropriate mathematical model to obtain a proportional relation between the resonance and the plasma parameters. A fluid model of the probe-plasma interaction offers the ability to calculate the electron density by measuring the resonance frequency. The information of the electron temperature can be obtained by analyzing another resonance parameter like e.g. the half width of the resonance peak. However, it requires a kinetic description of the resonance phenomenon. In this work a kinetic model, adapted to the pMRP, is analyzed using functional analytic methods. An approximated solution for the admittance of the probe-plasma interaction will be investigated and a study of the influence of the truncation on the resonance spectrum will be shown.The authors gratefully acknowledge funding by the German Research Foundation (DFG) within the project OB 469/1-1.
AB - The planar Multipole Resonance Probe (pMRP) is a measurement device for plasma processes, especially suited for industrial applications. Due to its planar design, the probe can be mounted directly into a chamber wall of a reactor and offers the ability to monitor the plasma during the process. The calculation of plasma parameters requires an appropriate mathematical model to obtain a proportional relation between the resonance and the plasma parameters. A fluid model of the probe-plasma interaction offers the ability to calculate the electron density by measuring the resonance frequency. The information of the electron temperature can be obtained by analyzing another resonance parameter like e.g. the half width of the resonance peak. However, it requires a kinetic description of the resonance phenomenon. In this work a kinetic model, adapted to the pMRP, is analyzed using functional analytic methods. An approximated solution for the admittance of the probe-plasma interaction will be investigated and a study of the influence of the truncation on the resonance spectrum will be shown.The authors gratefully acknowledge funding by the German Research Foundation (DFG) within the project OB 469/1-1.
KW - Engineering
UR - https://www.dpg-verhandlungen.de/year/2019/conference/muenchen/part/p/session/6/contribution/2
M3 - Published abstract in conference proceedings
T3 - Verhandlung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, Reihe 6
SP - 169
BT - DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos (SMuK)
A2 - Nunner, Bernhard
PB - Deutsche Physikalische Gesellschaft e.V.
CY - Bad Honnef
T2 - DPG-Frühjahrstagung der Sektion Materie und Kosmos - SMuK 2019
Y2 - 17 March 2019 through 22 March 2019
ER -
