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Die sphärische Impedanzsonde: Ein Plasmasensor in metallisch abscheidenden Plasmaprozessen

Publikation: Beiträge in Sammelwerken › Abstracts in Konferenzbänden › Forschung › begutachtet

Authors

OriginalspracheDeutsch
TitelKleinheubacher Tagung 2016 : Book of Abstracts
Anzahl der Seiten1
VerlagUnion Radio-Scientifique Internationale, Landesausschuss in der Bundesrepublik Deutschland e. V
Erscheinungsdatum09.2016
Seiten99
PublikationsstatusErschienen - 09.2016
VeranstaltungKleinheubacher Tagung - URSI 2016 - Miltenberg, Deutschland
Dauer: 26.09.2016 → 28.09.2016
https://www.ursi-landesausschuss.de/tagungen_conferences/kleinheubacher_tagung_2016.html

Zugehörige Projekte

  • Nachweis eines kinetischen Einflusses auf die Resonanzverbreiterung im Spektrum eines Sensors zur aktiven Plasmaresonanzspektroskopie

    Projekt: Forschung

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